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中微半导体设备（广州）有限公司：

　　报来《中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期项目》收悉。根据《固定资产投资项目节能审查办法》《广东省固定资产投资项目节能审查实施办法》等相关要求，我局对该项目节能报告进行了审查，审查意见如下：

　　一、中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期项目（项目代码：2504-440118-04-01-300068）采用的主要技术标准和建设方案符合国家相关节能法规及节能政策的要求，原则同意该项目节能报告。

　　二、项目主要建设内容及规模：项目总投资10亿元，总用地面积3.33万平方米（合50亩），建筑总占地面积16848.55 平方米，总建筑面积63262.31 平方米，容积率约3.05，主要建筑包括：1#综合性生产厂房总建筑面积57734.45平方米。2#甲类仓库建筑面积80平方米；3#食堂建筑面积约998.41平方米；4#门卫建筑面积151.00平方米，5#地下车库建筑面积4298.45平方米。本项目为半导体产业链上游的半导体设备制造，主要产品为 Gen8.5 代平板显示PECVD工艺设备（PECVD 产品，刻蚀产品），主要用于 G8.5 代显示面板生产工艺中的薄膜制备工艺。项目达产后，年产15台整机设备。

　　三、项目能源消费情况及能效水平：项目达产后，新增年综合能源消费量4299.67吨标准煤（当量值），其中年外购电力3403.71万千瓦时，年耗天然气量9.26万立方米，年耗柴油量1.02吨，年二氧化碳排放量15246.50吨；项目单位产品综合能耗（当量值）不超过286.64吨标准煤/台，项目单位产品综合能耗（等价值）不超过670.36吨标准煤/台，项目单位工业增加值综合能耗（当量值）不超过0.187吨标准煤/万元，项目餐饮区域单位面积电耗不超过125.30千瓦时/平方米，项目地下车库单位面积电耗不超过5.14千瓦时/平方米，项目单位产值二氧化碳排放量不超过0.152吨二氧化碳/万元。项目投产后按照国家、省、市、区有关绿电绿证等政策要求执行，并按《广东省人民政府办公厅关于印发广东省推进分布式光伏高质量发展行动方案的通知》（粤办函〔2024〕92号）等要求因地制宜开展光伏建设。

　　四、请你单位严格按照行业标准及规范落实节能报告各项节能措施，优先选用能效标准领先的产品和设备，将能效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同，不得使用国家明令禁止和淘汰的落后工艺及设备。并根据《能源管理体系要求及使用指南》（GB/T 23331-2020）、《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB 17167-2025）等规范，健全能源管理体系，配备能源计量器具，建立能源计量管理体系。

　　五、请你单位根据本审查意见和项目节能报告，对项目设计、施工、竣工验收以及运营管理进行有效监督检查，及时报告本审查意见落实情况和项目有关重大事项。项目投入运营、使用前，请你单位组织对项目节能相关情况进行验收，并将节能验收报告报我局留存，我局将依据《节能监察办法》（国家发展改革委2016年第33号令），对项目组织开展节能监察。

　　六、本节能审查意见自印发之日起两年内有效，项目逾期未开工建设或建成时间超过节能报告中预计建成时间两年以上的，应重新进行节能审查。项目如需变更，请按照《固定资产投资项目节能审查和碳排放评价办法》等规定执行。